ディスプレイ製造-超純水ろ過

超純水 (UPW) は、ディスプレイのデバイス製造プロセス全体で幅広く利用されるため、これを製造し品質を維持することは極めて重要です。

ディスプレイ業界では、ここ数年の急速な技術進歩によって、清浄度に対する要求が厳しくなりました。特にコロイダルシリカや微粒子、全有機炭素量 (TOC)、細菌、パイロジェン (細菌の断片)、金属イオンなどは、定量的に除去する必要があります。

超純水システムの要所に適切にフィルターを設置することで、この厳しい要求の実現を確実にします。重要な領域へ、どのような機能のフィルターを設置するかで、水質の違いが計測値として現れるからです。

高純度の純水 (DI)システム用フィルターには、下記ような品質性能が必要となります。

  • ろ液に、有機物、微粒子、金属イオンの汚染がないこと。
  • 捕捉した汚染物質の再放出やろ材の流出がないこと。
  • 完全性試験が可能であり、ろ過精度が確認できること。
  • 製品性能が安定しており、製品ロット間のばらつきがないこと。
  • 長いろ過寿命と高いコスト効率を実現するために、圧力損失が低いこと。
 

ディスプレイの概要ディスプレイ - 用途
ディスプレイ - 化学薬品ろ過
ディスプレイ - リソグラフィろ過
ディスプレイ - 液晶ろ過
ディスプレイ - ガスのろ過・精製
ディスプレイ - 超純水ろ過

ポールは、逆浸透膜プレフィルター、レジントラップ、ループ、ポイントオブユースに設置するフィルターを提供しています。 イオンクリーン・フィルターを使用すると、微量金属を低いppt範囲にまで除去することができます。


ディスプレイ製造における超純水ろ過用製品

フィルターカートリッジ

ウルチプリーツ・P-ナイロン (超純水ろ過)
ウルチプリーツ・P-ナイロン (超純水ろ過)このフィルターの上流側から下流側に向かって孔径が小さくなるテーパー孔構造によって、低圧損ながらも、ろ過精度は20nmまで細かくすることができます。

   
ネクシス NXA・フィルター
ネクシス NXAこのフィルターカートリッジは、高い差圧でも捕捉異物を再放出しません。




    
ネクシス NXT
ネクシス NXTこのフィルターは、連続的なテーパー孔構造となっているため、プレフィルターとファイナルフィルターの両方の機能を持っています。



   
ポリファインXLD・フィルター
ポリファインXLDこのフィルターは、デプスフィルターとプリーツフィルターの革新的な技術融合を特徴としており、低い圧力損失で高流量を実現します。




ポジダイン UP
ポジダイン UPポジダイン UP・フィルターは、今日の高度な半導体製造の超純水用途に最適です。



プロファイル
プロファイル Ⅱプロファイル Ⅱ・フィルターは、99.98%の除去効率で汚染異物を除去することが実証されています。このフィルターは、RO前処理、レジントラップ、冷却水などでの使用に最適です。
    

プロファイル UP
プロファイル UPプロファイル UP・フィルターは、ウルチプリーツ形状を採用し、デプスメディアをプリーツ構造にしたものです。その結果、高流量を実現しながら差圧を小さく抑えるという機能を併せもち、レジントラップ、RO前処理、または冷却水用フィルターとして適しています。


ウルチプリーツ・ハイフロー
ウルチプリーツ・ハイフローこのフィルターは、冷却水、RO前処理、レジントラップろ過などでの使用に最適です。



ウルチプリーツ・ハイフロー(エッチング用途向け)
ウルチプリーツ・ハイフロー(エッチング用途向け)ウルチプリーツ・ハイフロー・フィルターは、ウェットエッチングや洗浄などのTFT LCD液体用途向けに設計されています。


ウルチプリーツ PK
ウルチプリーツ PKこのフィルターカートリッジは、7Gおよび8G向け液晶ディスプレイ (LCD) で必要とされる大流量の洗浄液用に設計されています。
    

ウルチプリーツ PKS・フィルター
ウルチプリーツ PKSこのフィルターは、第5世代から最新世代の液晶ディスプレイ (LCD) プロセスに必要な大流量の水用途向けに設計されています。




バラファイン VFSG・フィルター
バラファイン VFSGこのフィルターの特許取得済みの高非対称膜によって、優れた流量と長いろ過寿命を確保します。


 

ウォーターファイン
ウォーターファインこのフィルターは、優れた流量と長いろ過寿命を持ち、純水・超純水用に適したフィルターです。
 

 

ハウジング

フロロプラスⅡPFA・フィルターハウジング
フロロプラスⅡ PFA・フィルターハウジングこれは、エレクトロニクス業界で使用される高純度化学薬品用途向けの1本入れPFAフィルターハウジングです。



メガプラスト・インラインPFA・フィルターハウジング
メガプラストインラインPFA・フィルターハウジングこのハウジングは、超高純度の化学薬品に対する清浄度および適合性の厳しい要件を満たすよう設計されています。


メガプラストPPおよびPVDFフィルターハウジング (超純水ろ過)
メガプラストPP製およびPVDF製フィルターハウジング (超純水ろ過)このフィルターハウジングは、金属部品を全く使用せずに優れた物理的強度のある設計となっています。