薄膜モジュールの製造

化学薬品および水のろ過

ウルチプリーツ PK・フィルターは、大型基板工程で使用される化学薬品や純水用として適した設計がされています。精密ろ過は、薄膜製造工程において、薄膜の品質を確保するのに重要です。モジュール品質を高く維持するには、清浄な基板が必要です。

薄膜太陽電池製造用ガスろ過

太陽電池製造に必要な最高純度のガスを供給するため、ガス精製器やガスフィルターを提供しています。

薄膜堆積用のガス精製

CIGS (銅、インジウム、ガリウム、セレン) の太陽電池の薄膜活性層は通常、スパッタ堆積を使用して形成されています。

この真空ベースのプロセス中に、電子のプラズマとイオンは不活性アルゴンガスから生成されます。これらのイオンは、堆積する結晶物質の表面から原子を取り除き、基板上に非常に薄いコーティングを形成します。

多成分薄膜は、優れた化学量論的組成精度で堆積します。

アルゴンガス精製用製品では、水分、酸素、一酸化炭素、二酸化炭素、炭化水素を除去します。

  • 膜品質の改善
  • アウト (脱) ガスの削減による排気時間の短縮
 

太陽電池の概要
太陽電池 - 用途
太陽電池 - ポリシリコン精製および処理
太陽電池 - 結晶成長
太陽電池 - シリコンおよびプロセス水の再利用
太陽電池 - 結晶シリコン電池処理
太陽電池 - 薄膜モジュール製造
太陽電池 - 製品
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アモルファスシリコン薄膜および反射防止膜

反射防止膜またはアモルファスシリコン膜を形成するために使用される水素とシランガスの分子汚染は、不均一なコーティングや粒子生成から発生するその他の種類の欠陥といった、多くのプロセス問題を引き起こす可能性があります。

ガスクリーン Ⅱ・ピューリファイヤーは、水素ガスとシランガス中の不純物水分と酸素を1ppb未満にまで減らします。 ガス精製器は、シランガス中からシロキサンとドーパント金属(例えば、As、P、Al、B)をトレースレベルまでに除去することが実証されています。

費用対効果の高いガスろ過

ガスクリーン・ライト・フィルターは、コストを最小限に抑えながら、太陽電池業界向けの最先端ガスろ過を提供するために設計されました。