半導体業界向けろ過・分離技術



汚染制御は、半導体デバイス製造において最も重要な技術課題の1つです。

化学薬品、ガス、水、CMPスラリー、フォトレジストなどのさまざまな流体に関して、ポールのろ過・分離・精製技術を提供しています。

注目情報

  • お知らせ

    ポールのフッ素系樹脂製品はPFOAフリーに移行詳細はこちら... (PDF)
  • 金ナノ粒子による評価方法

    ろ過精度10nmのウルチプリーツSP DRフィルターは、ポールで開発した、金ナノ粒子を使った評価方法を採用しています。詳細はこちら... (PDF)
用途
用途
半導体製造用ろ過・精製技術
製 品
製  品
半導体製造用ろ過・精製製品は、こちらをご参照ください。
用途別カタログ
用途別カタログ
半導体製造におけるろ過・精製に関する詳細。
冊子カタログ
冊子カタログ
高輝度LED製造用ろ過分離精製技術