プロセス水とシリコンの回収と再利用

ウェハ工程前のシリコンインゴットの成形は、複数の切断・研磨工程に分かれています。

装置やシリコン表面の冷却、潤滑用途、また、シリコン微粒子を除去用として、大量の水が必要です。使用済みのプロセス水は、シリコン微粒子を含んだ廃液となります。

当社では、この研磨工程の廃液からシリコンスラッジを分離し、水を回収・再利用するため、次世代用全自動分離システムを開発しました。(関連技術情報はこちらをご覧ください)。このシステムは、太陽電池用ウェハメーカーに以下のようなメリットをもたらします。

  • 使用済プロセス水の最大95%を、高品質水として再生する。
  • 廃水の排出量を削減する。
  • プロセス水の仕様を管理することで、研磨工程の品質を向上させる。
  • 装置機器類への粒子付着や配管系の目詰まりを低減する 
  • 使用済みプロセス水の事前処理によって、シリコンと水の相互作用から起こる化学的ハザードを削減する。
  • 化学汚染がほとんどない脱水したシリコン粒子を、再利用可能な原料として回収する。

このような再生システム (下図を参照) の中核となるのは、濃縮されたシリコンの物理化学的処理と組み合わせた膜分離 (MF) システムです。

このシステムでは、汚染されたプロセス水を清澄化します。通常、汚染されたプロセス水の90~95%が完全に清澄化されて再利用できるようになります。残りの濃縮液は、廃棄されるか、その他の廃水処理設備で処理されます。または、廃棄規制に従ったその他の処理を行ったり、シリコンを脱水固化したりします。ご要望に応じて、システム構築等をサポートいたします。

 

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太陽電池 - 結晶シリコン電池処理
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太陽電池 - 製品

 シリコンを含む排水を処理するシステムは、世界中ですぐれた実績をあげています。 下の写真は、30m³/時 (132 GPM) のシリコン研磨/切断廃水用に設計されたろ過ユニットを示しています。安全なプロセス水を供給するために、2 x 75%のアーキテクチャを提供しています。

研磨工程廃水の再生

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PVシリコン研磨/切断水の再生用自動精密ろ過システム

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