• Easy Installation
プロセスの測定は、以前にもまして重要になっています。新しいテクノロジーノードの進展とともに、「致命的な」汚染物質のサイズが小さくなり、その量が少なくなればなるほど、検出や清浄化がさらに困難になります。

ポールでは、検出限界が低く、ドライダウンタイムが速く、費用対効果の高い装置を提供しています。持ち運びのできるガスクリーン・ピコ1000微量水分計です。この微量水分計は、製品の製造や品質管理に超高純度(UHP)窒素を使用している半導体メーカー、ガス装置メーカー、プロセスガス・サプライヤー、検査工具OEMメーカー等での用途に適しています。

用途

半導体製造

  • ガスライン・サンプリング検査、故障・異常の点検
  • 精製用途、寿命表示
  • 継続品質管理室のガスラインモニター
  • 装置保守復旧

ガス供給システム製造/インテグレーター

  • ガスキャビネット、ガススティック、マニホールド・バルブが顧客仕様に適合していることを出荷前または設置後に計測認証する。
  • 新装置の設計仕様のための水分検証や乾燥度の計測グラフ
  • フィールドサービス・エンジニアがCDS装置を設置後検証する

OEM部品製造

  • CDS装置の顧客仕様の製造条件や乾燥度計測グラフ
  • 新装置の設計仕様のための水分検証や乾燥度の計測グラフ
  • フィールドサービス・エンジニアがCDS装置を設置後検証する

超高純度ガス製造

  • ガス製品が製造管理項目に適合していることを検証する
  • ガス製造や寿命診断のCQC用に、精製器前に監視装置として設置する
  • ガス供給システムのサンプリングや設置、保守時の検証用

OEM装置製造

  • 顧客現場で、フィールドサービス・エンジニアが装置設置前に行うガス仕様の検証
  • 精製器前の監視装置や部品設置前の検証
  • 設置時の異常や、現場における精製器の早発的不具合の修理保証の回避
  • 現場での、水分急上昇に関する不具合対応
  • アップタイム向上、コスト削減および青信号から青信号への変調促進による歩留向上
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お問い合わせは、最寄の当社マイクロエレクトロニクス事業部までご連絡ください
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