結晶シリコンセルの処理

循環槽用の化学薬品ろ過

ポールフィルターは、洗浄やエッチング工程におけるウェハー表面の粒子汚染を低減します。

重要なオリフィス(洗浄ノズル等)を保護し、目詰まりやダウンタイムの発生を防止することができます。

ループにろ過装置を配置することによって、流体再生価値は、再循環槽で最大化できます。 ろ過によって、化学薬品バス(循環槽)の寿命を伸ばすことができます。清浄なバス(槽)は、ウェハ表面の品質も向上させます。
 
当社では、幅広い製品を取り揃え、製造プロセスで使用する薬液、ガス、水のろ過用途に応じて、最適な製品をお選びいたします。

推奨フィルター製品

ソーダメージエッチングと微細構造化

  • プロファイル A/Sフィルター
    • 特に、高温の、または非常に汚染された腐食性化学物質に費用対効果の高いソリューションを提供し、アルカリの微細構造化に最適となるように設計されています。
リンの拡散、酸化膜エッチング、およびエッジアイソレーション

  • クラリス
    • オール・ポリプロピレン製
    • 長寿命のためのテーパー孔構造
    • 界面活性剤なし、バインダーなし、または接着剤なし
  • ネクシス NXT
    • クラリス・フィルターへの類似性
    • より高い温度と差圧に耐えることが可能
  • プロファイル Ⅱ・フィルター
    • オール・ポリプロピレン製
    • 長寿命のための高多孔性
    • 界面活性剤なし、バインダーなし、または接着剤なし
ハウジングの推奨製品

メガプラスト・ハウジング

    • ポリプロピレン、PVDFおよびPFA材を使用
    • 10インチおよび20インチで利用可能
    • マニホールド接続で使用可能
 

太陽電池の概要
太陽電池 - 用途
太陽電池 - ポリシリコン精製および処理
太陽電池 - 結晶成長
太陽電池 - シリコンおよびプロセス水の再利用
太陽電池 - 結晶シリコン電池処理
太陽電池 - 薄膜モジュール製造
太陽電池 - 製品
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反射防止膜のろ過

反射防止膜またはアモルファスシリコン膜を形成するために使用される水素とシランガスの分子汚染は、不均一なコーティングや粒子生成から発生するその他の種類の欠陥といった、多くのプロセス問題を引き起こす可能性があります。

ガスクリーン Ⅱ・ ピューリファイヤーは、水素ガスとシランガスの水分と酸素を1ppb未満にまで減らします。 ガス精製器は、シランガス中からシロキサンとドーパント金属(例えば、As、P、Al、B)をトレースレベルまでに除去することが実証されています。

関連するアプリケーション情報をお読みください。「シリコンエピタキシャル・プロセスにおけるシランガスからのシロキサン不純物の除去」(PDF)

費用効果に優れたガスろ過(ガスフィルター)

ガスクリーン・ライト・フィルターは、コストを最小限に抑えながら、太陽電池市場に最先端のガスろ過を提供する目的で設計されています。