結晶成長

PVブローバックフィルターによる真空ポンプの保護

単結晶インゴット成長に使用されるチョクラルスキー引き上げ装置の排ガスには、シリコン溶融上の凝縮によって形成される微細粒子塵埃が含まれます。人、環境、真空ポンプを保護するために、この微細粒子をろ過する必要があります。

微粒子シリコン塵埃は反応性が高く、すぐにSiOとSiO2への酸化 (発熱反応) が起こります。ドーパントにもよりますが、この塵埃は非常に危険です。

ポールは、この用途向けで幅広い実績があります。PSSステンレススチール製エレメントとハウジングの組み合わせによるブローバック技術が、長年にわたり使用されています。

従来のろ過技術
  • フィルターの交換時にフィルターハウジングを開く必要があるため、ディスポーザブルフィルターの塵埃除去は作業員を塵埃環境に晒し、ポンプの環境を汚染します。
  • Si/SiOからSiO2への酸化では発熱が生じ、通常、従来のフィルターろ材ではフィルターの完全性損失につながる高温に晒され、繰り返し耐えることができません。粗いシリコンの通過のこの結果により、ポンプの損傷を引き起こす可能性があります。
  • 頻繁にフィルターを交換すると、プロセスの長期ダウンタイムと高額の所有コストが発生します。
PSSフィルター (ブローバック技術使用)
  • ブローバック製品はこの業界向けで長年使用されて効果的な実績をあげています。
  • 塵埃を除去するために、フィルターハウジングを開く必要はありません。
  • クリーニングは、ブローバック技術により、各サイクルの完了後に迅速かつ自動的に行われます。
 

太陽電池の概要
太陽電池 - 用途
太陽電池 - ポリシリコン精製および処理
太陽電池 - 結晶成長
太陽電池 - シリコンおよびプロセス水の再利用
太陽電池 - 結晶シリコン電池処理
太陽電池 - 薄層モジュール製造
太陽電池 - 製品
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  • Si/SiOからSiO2への酸化は、よく制御された条件の下、フィルター容器(ハウジング内)で発生します。
  • 極めて堅牢なPSS金属フィルターは、高温への耐性があり、シリコン塵埃を最適に捕捉します。
  • これらのろ過ユニットを半自動化または全自動化することができます。
  • ブローバックユニットは、通常、フィルターを交換せずに数年間ご使用頂けます。
  • 所有コストのモデルは、1年〜2年での投資の回収 (ROI) が見込めます。
  • 漏れが無く、ポンプ寿命を長く、所有コストが低いことがブローバックユニットの特徴です。

PVブローバックユニットのセットアップ

PVブローバックユニットのセットアップ


チョクラルスキー引き上げ装置向けのガス精製

成長プロセス中にインゴットに結晶欠陥が生じる場合は、それらを除去するために再溶融が必要です。これは、成長サイクルを長引かせて、装置のスループットに悪影響を与えるため、高額となります。ガスクリーン精製器は、CZ結晶引き上げ装置向けのブランケットとして使用されるアルゴンガス中の水分をサブppbレベルになるまで取り除きます。

  • シリコンインゴットの成長中、結晶欠陥を最小限に抑えます。
  • 追加の再溶融ステップの低減、もしくは排除します。