半導体製造用CMP工程でのろ過

ポールは各メーカーやエンドユーザーのお客様と協働して、CMP向けろ過に関する技術を提供しています。

当社では、広範囲のスラリーとさまざまな用途に対応する、効率的で経済的な製品の開発に継続的に取り組んでいます。

各工程用の製品については、下記をご参照ください。フィルターの設置個所や対応スラリーが一覧となっています。

 

半導体向け概要
半導体-用途
半導体 – 化学薬品
半導体 - CMP
半導体-ガスのろ過・精製
半導体 – リソグラフィ
半導体-超純水
半導体-環境とリサイクル
半導体用途向けCMPろ過の用途別カタログ

フィルターの推奨設置場所

 

層間絶縁 (ILD) 向けろ過技術

ILDスラリーは、通常、高固体 (10%を超える) のヒュームドシリカまたはコロイドシリカで構成されています。さらに、より低い濃度の固体のセリア研磨剤は、現在、より高度な誘電用途の一部に採用されています。

 

 
スラリータイプ 1. ドラムからデイタンク 2.グローバルループ 3.ポイントオブユース (POU)
ヒュームドシリカ  CMピュア CMPD 1.5  CMピュア CMPD 10  スタークリーン A015 (カプセル)
CMピュア CMPD 1.5 (カートリッジ)
コロイドシリカ  プロファイル Ⅱ Y005  CMピュア CMPD5 スタークリーン Y005 (カプセル)
プロファイル Ⅱ Y005 (カートリッジ) 
 セリア   プロファイル Ⅱ Y002  プロファイル ⅡY030  プロファイル Ⅱ Y002 (カプセルまたはカートリッジ)
 

 

バルク銅向けろ過解決

第一ステップ (またはバルク) 銅スラリーは、通常、低固体 (5%未満) のヒュームドアルミナまたはコロイドシリカで構成されています。これらのスラリーには、ろ過性能に影響を与える可能性がある独自の化学物質が含まれていることがあります。以下の推奨製品は、一般的なガイドラインです。お客様のスラリーに適したフィルターの選定については、最寄のポールまでお問い合わせください。

 
スラリータイプ 1. ドラムからデイタンク 2.グローバルループ 3.ポイントオブユース (POU)
ヒュームドアルミナ  プロファイル Ⅱ Y005  CMピュア CMPD5 スタークリーン Y003 (カプセル)
プロファイル Ⅱ Y003 (カートリッジ)
 コロイドシリカ  プロファイル Ⅱ Y005  CMピュア CMPD5 スタークリーン Y003 (カプセル)
プロファイル Ⅱ Y003 (カートリッジ) 
 

 

バリア銅向けろ過解決

バリア銅スラリーは、高固体 (通常5%~10%) のヒュームドシリカまたはコロイドシリカで構成されています。これらのスラリーには、ろ過性能に影響を与える可能性がある独自の化学物質が含まれていることがあります。以下の推奨製品は、一般的なガイドラインです。お客様のスラリーに適したフィルターの選定については、最寄のポールまでお問い合わせください。

 
スラリータイプ 1. ドラムからデイタンク 2.グローバルループ 3.ポイントオブユース (POU)
ヒュームドシリカ  CMピュア CMPure 1.5 CMピュア CMPD10 スタークリーン A010 (カプセル)
CMピュア CMPD 1.5 (カートリッジ)
 コロイドシリカ  プロファイル Ⅱ Y010  CMピュア CMPD5 スタークリーン Y003 (カプセル)
プロファイル Ⅱ Y003 (カートリッジ)
 

 

シャロートレンチアイソレーション (STI) 向けろ過ソリューション

STIスラリーはセリア研磨剤 (5%~10%) の固体で通常構成されています。高固体 (10%を超える) のヒュームドシリカのスラリーはこの用途に対して使用されています。
 
スラリータイプ 1. ドラムからデイタンク 2.グローバルループ 3.ポイントオブユース (POU)
セリア プロファイル Ⅱ Y002 プロファイル ⅡY030 プロファイル Ⅱ Y002 (カプセルまたはカートリッジ)
 ヒュームドシリカ  CMピュア CMPD1.5  CMピュア CMPD10 スタークリーン A010 (カプセル)
CMピュア CMPD 1.5 (カートリッジ)
 

 

タングステン向けろ過解決

低固体 (5%未満) のヒュームドシリカとコロイドシリカは、通常、タングステンの用途に対して使用されます。多くの場合、コロイドアルミナは一部の成熟した用途に最適な研磨剤です。

 
スラリータイプ 1. ドラムからデイタンク 2.グローバルループ 3.ポイントオブユース (POU)
コロイドシリカ プロファイル Ⅱ Y005 CMピュア CMPD5 スタークリーン Y005 (カプセル)
プロファイル Ⅱ Y005 (カートリッジ)
ヒュームドシリカ プロファイル Ⅱ Y005 CMピュア CMPD5 スタークリーン A010 (カプセル)
プロファイル Ⅱ Y005 (カートリッジ)
 コロイドアルミナ  プロファイル Ⅱ Y005  CMピュア CMPD20

スタークリーン A050 (カプセル)
プロファイル Ⅱ Y050 (カートリッジ)